icmGlobalNews A Press Release from International Communications & Marketing - ICM

Press Release for Aerotech



A. B.

最長可動距離160 mm × 160 mmで分解能1 nmが可能な
2軸リニアモーターナノポジショナー ANT130-XY
Aerotechは最高レベルの高精度と再現性を達成

エアロテックは、最長可動距離160 mm x 160 mmでナノメーターレベルの性能を発揮するリニア2軸ステージシリーズANT130-XYを発表しました。このステージは、2軸としては類を見ない高さ85 mmという低姿勢を達成します。また、高い分解能(1 nm)、再現性(75 nm)及び精度(250 nm)は、静止位置安定性と円滑なモーションを兼ね備え、ナノ位置決め性能を必要とするあらゆるアプリケーションをサポートします。

このANT130-XYステージは、広範囲にわたる研究開発分野及び製造分野での使用を念頭に設計されているため、データストレージ、セミコンダクタ、レーザー微細加工、医療、センサーテスト、検査、材料堆積及びMEMS/ナノテクノロジーデバイス製造などに最適です。

このステージにはAerotech独自の先進ダイレクトドライブテクノロジーとクロスローラベアリングが用いられており、最高レベルのポジショニング性能を達成します。ダイレクトドライブテクノロジーにはヒステリシスがなくかつバックラッシュもないため、XY両軸で正確かつ高い再現性のある動きを実現できます。可動距離のすべてのオプション(60 mm x 60 mm、110 mm x 110 mm、160 mm x 160 mm)において、ステージ高は85 mmです。

ANT130-XYは直交性、真直性及び平坦性などの重要な要素を最適化することで、幾何公差が最小となるように設計されています。また、当社のケーブルマネージメントシステムは、ケーブル動作時における抵抗力が最小化されるように工夫されています。

垂直リフトステージ、回転及びゴニオメーターステージなど他のAerotech ANTシリーズ製品に新型ステージを組み合わせることで、ユニークな高性能多軸ナノ位置決めシステムのご提供が可能です。

エアロテック(www.aerotech.com)は、世界の産業界、政府機関及び科学研究機関を対象としたモーションコントロール製品の主要サプライヤーです。その精密製品は、高精度で高い処理能力のモーションコントロールソリューションを必要とする要求レベルの高いアプリケーションに対し極めて重要な性能を提供しています。

フォトキャプション:
イメージをクリックして高解像度ファイルをダウンロードしてください。

A. Aerotechの2軸ナノポジショナーANT130-XYは、最高可動距離160 x 160 mmで高い分解能、再現性、精度を達成。
B. 高性能ANT130-XY(水平動用)を組み入れた材料堆積用3軸モーションサブシステム(またはグラナイト)。

編集者向け注:このリリースの発行を計画されている場合は、上記フィードバックフォームを使用して、またはE-メールでお知らせください。発行された場合は、切り抜きまたは掲載号をお送りください。E-メール宛先:plishman@icmglobalnews.com、またはハードコピーの郵送宛先:International Communications & Marketing, P.O. Box 185, Stone Ridge, NY 12484 USA

製品販売連絡先:
JAPAN

AEROTECH KK
Tadashi Imai
Phone: +81(0)47-489-1741
Fax: +81(0)47-489-1743
timai@aerotech.com
www.aerotech.com