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Aerotech公司新聞發佈稿



AEROTECH的XY壓電奈米定位平台為極精密應用提供無摩擦的撓性軸承
具高解析度、線性度、和高重複性的新QNP-XY平台,可提供更高的產能

Aerotech (www.aerotech.com)推出全新系列的XY壓電奈米定位平台,提供高精度應用。該公司表示,QNP-XY定位平台的尺寸和行程,能提供最高的共振頻率和剛性;使用者因此可在嚴峻的製程中獲致更大產能。

應用範圍:

  • 測試與檢驗
  • 工業與學術實驗室
  • 奈米技術
  • 顯微鏡術
  • 半導體
  • 微電子學
  • 光學
  • 光電
  • 數據儲存
  • 精密加工
  • 金屬工業
  • 生命科學
  • 醫療設備

解析度0.15 nm、線性度0.007%、及高重複性2 nm,該系列平台 合最嚴峻的應用要求,從顯微鏡術到光學校準;其行程範圍為從100 µm到600 µm。

QNP壓電平台由無摩擦的精密撓性軸承所導引,該裝置使用優化有限元素分析,可提供快速閉迴路響應。其XY一體的設計使堆疊高度及運動質量減到最低,因而具有優異的靜態與動態多軸功能。

搭配Aerotech的Q系列控制器與驅動器使用時,該系列平台表現出次奈米定位解析度和定位穩定性,以及高定位頻寬。它們可選擇搭載或無搭載電容式位移計回饋,並有多種軟體可供選用。

Aerotech 公司是一家為工業、政府、科學和研究機構提供定位和運動控制產品的世界級領導廠商,其產品專門為需要高精度、高產能運動控制解決方案的應用提供重要性能。

圖片說明
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XY壓電奈米定位平台為嚴峻的應用產能提供高度的共振頻率和剛性。

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