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エアロテックプレスリリース



超精密用途向けの摩擦のないフレキシャ・ガイダンスを装備した
エアロテックXY ピエゾ ナノ位置決め装置

高分解能と線形性、反復性で更に迅速なスループットを提供する新製品QNP-XY ステージ

超精密アプリケーション向けのXY ピエゾナノ位置決め装置の新シリーズがエアロテック (www.aerotech.com) から発表されました。同社のQNP-XY ステージは、他製品に匹敵する大きさと移動距離を備えながらも位置決め装置に最高の共振振動数と剛性を提供しています。これによりユーザが厳密なプロセスにおいても最高のスループットを達成することができます。

アプリケーション:

  • 試験および検査
  • 産業および学術研究所
  • ナノテクノロジ
  • 顕微鏡検査
  • 半導体
  • マイクロエレクトロニクス
  • 光学
  • フォトニクス
  • Data Storage
  • 精密機械
  • 金属
  • ライフサイエンス
  • 医療機器

このステージには、分解能 0.15 nm、線形度 0.007% そして 2 nm

反復性があり、顕微鏡から光学装置のアライメントに至るまでのアプリケーションの最も厳密な要件を満足します。移動距離は 100 µm から 600 µm の範囲を実現しています。

QNP ピエゾステージは、高速閉ループ応答に対する有限要素解析を用いて最適化された、摩擦のない精密フレキシャによりガイドされます。統合型 XY パッケージによって、積層の高さと移動質量が最小化され、優秀な静的および動的多軸パフォーマンスが発揮されます。

エアロテックの Q-シリーズ コントローラとドライブを組み合わせると、このステージはナノメートル以下の位置決め分解能と固定位置安定性、広い位置決めバンド幅を出すことができます。これらは、静電容量センサフィードバックおよび広範囲のソフトウェアオプション付き/なしで利用することができます。

エアロテック社は世界の産業界、政府機関および科学研究機関を対象とした位置決め・モーションコントロール製品の牽引的役割を果たしているサプライヤーです。その製品は、高精度かつ高処理能力のモーションコントロールソリューションを必要とする先端技術のアプリケーションに対して、極めて重要な性能を提供しています。

フォトキャプション:
イメージをクリックして高解像度ファイルをダウンロードしてください。
XY ピエゾ ナノ位置決めステージが厳密なアプリケーションでの高スループットを実現するために高分解能振動数を提供。

編集者向け注:このリリースの発行を計画されている場合は、上記フィードバックフォームを使用して、またはE-メールでお知らせください。発行された場合は、切り抜きまたは掲載号をお送りください。E-メール宛先plishman@icmglobalnews.comまたはハードコピーの郵送宛先International Communications & Marketing, P.O. Box 185, Stone Ridge, NY 12484 USA

よろしくお願い致します。

製品販売問い合わせ先:
日本国内
Aerotech Japan
Phone: +81 (0)50 5830 6821
Fax: +81 (0)43 306 3773
sales@aerotechkk.co.jp
www.aerotech.com