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エアロテックプレスリリース



高ダイナミックレンジあるいは準静止的なアプリケーション向けの
低プロフィール XY リニアモーター・ステージをエアロテックが発表

新製品PlanarDLA が高速かつ精密位置決めへの直接駆動が特長


エアロテック (www.aerotech.com) が精密な幾何学的パフォーマンスとミクロンレベルの直線性をもつ統合型オープンフレームのステージ・シリーズを導入しました。新製品の PlanarDLA ステージには、高精密ローラーベアリング、精密機械加工表面そして軸中心方向の剛性を通じて駆動する非接触リニアモーターが含まれます。これらの特長により、±0.5µm の直線性と ±1.25µm の平坦性が得られています。

アプリケーション:

  • 半導体 製造
  • エレク トロニクス製造 (LED)
  • 試験お よび検査
  • レー ザープロセス
  • 金属検 査
  • マイク ロマシニング
  • ナノテ クノロジ
  • 医療
  • 研究室
  • 光計測
  • ウエハプロセス
  • 計量管理
  • オートメーション

この低プロフィールステージは、ダイナミックレンジが大きい両面 LED ウエハープロセスから準静止光計測に至るまでの広範囲なアプリケーション向けとして設計されています。本製品シリーズは 9 つのモジュールを完備しており、移動距離と精度に対する顧客要件を満足しています。

PlanarDLA は、速度 2 m/s と加速度 2 g によって高いスループットと高精度のプロセスを可能しており、優れたプロセス歩留まりと低いトータルコストでオーナーシップを実現しています。本製品は、利用可能な開放口を最大限にクリアにし、また全体の型さを最小にしながらも、高いサーボバンド幅を達成しています。

エアロテックが自社開発した直接駆動技術によって、高速で精密な位置決めが長寿命のメンテナンスなしの稼動を提供しています。このステージは一軸当り1~2個のモーターによって、特手のアプリケーションやプロセスに対して各軸を最適化できるようになっています。

エアロテック社は世界の産業界、政府機関および科学研究機関を対象とした位置決め・モーションコントロール製品の牽引的役割を果たしているサプライヤーです。その製品は、高精度かつ高処理能力のモーションコントロールソリューションを必要とする先端技術のアプリケーションに対して、極めて重要な性能を提供しています。

フォトキャプション:
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エアロテック社のPlanarDLA XY 直線移動ステージが、直線性と平坦性が重要なアプリケーションに高いスープットと高精度のプロセスを実現。

編集者向け注:このリリースの発行を計画されている場合は、上記フィードバックフォームを使用して、またはE-メールでお知らせください。発行された場合は、切り抜きまたは掲載号をお送りください。E-メール宛先plishman@icmglobalnews.comまたはハードコピーの郵送宛先International Communications & Marketing, P.O. Box 185, Stone Ridge, NY 12484 USA

よろしくお願い致します。

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