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Aerotech 新闻发布稿



AEROTECH 生产的高精度 Z 轴纳米定位器为压电纳米定位器系列增添新产品
此款新型 QNP-L 平台的行程范围为 100 μm 到 600 μm

Aerotech (www.aerotech.com) 现已推出一系列 Z 轴压电纳米定位平台,可满足极高精度要求的科研和工业需求。此款新型 QNP-Z 平台与现有的包括 QNP-L 直线平台和 QNP-XY 平台在内的产品,为精度要求最高的应用提供了全套解决方案。

应用包括:

  • 测试和检测
  • 政府与高校实验室
  • 军事
  • 纳米技术
  • 显微镜
  • 半导体
  • 微电子
  • 光学
  • 光电
  • 数据存储
  • 精密机械
  • 金属
  • 生命科学
  • 医疗器械

它们具有很高的分辨率、线性、重复性和高动态性能,能够满足 显微镜到光学对准等最严苛的应用需求。该平台具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的线性和 1 nm 的双向重复性,从而保证了纳米级精度。

各种行程范围(100 μm 到 600 μm)、反馈选项和真空版本增加了此平台系列的多样性。它们由精密柔性铰链导向,用有限元分析法进行优化。这种设计具有出色的刚度和高谐振频率(高达 1050 Hz),能够实现高产能和快速闭环响应。

所有 QNP 平台都具有优异的几何性能(直线度和角度误差),同时将整体包装尺寸降低到最小。还备有转接板,使直线单轴平台、XY 和 Z 轴平台能够安装在一起进行同步多轴定位。

Aerotech公司是一家为工业、政府、科研机构提供精密定位和运动控制产品的全球化顶级供应商,其产品专门针对高精度、高产能运动控制解决方案的应用需求提供关键性能指标。

照片文字说明:
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结构紧凑的Z轴纳米定位平台对精度要求极高的应用提供很高的分辨率、线性和重复性。

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