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AMETEK Rotron 新闻发布



AMETEK ROTRON 展示用于半导体行业的半制冷风扇和定制冷却系统
专为军事/航空航天任务设计的高可靠性、紧凑型风扇可保证在半导体应用中可靠性和一致的温度

AMETEK Rotron (www.rotron.com) 在日本东京半导体博览会(Semicon Japan)上展示其 SemiCool 定制冷却子系统,该系统为半导体生产流程提供高可靠性冷却。SemiCool 系统包括最初设计用于关键军事和航空航天应用的 Rotron MAXIAX 轴流式风扇,它以紧凑的封装提供精确的温度控制功能。

应用

  • 半导体制造
  • 半导体生产设备原始设备制造商
  • 灯冷却
  • 热控制工艺空气循环
  • 工艺散热
  • 控制电子设备产生的热量
  • 蒸汽沉降
  • 蚀刻工艺
  • 晶片制造

完整的 SemiCool 系统包括高可靠性风扇、优化的热交换器和定制的管道系统。客户还可以将 MAXIAX 风扇与自己的冷却子系统整合在一起。

直径范围从152.4毫米 (6英寸) 到203.2毫米 (8英寸) 的优化风扇在254mm WG (10 IWG) 下提供425 l / s (900 CFM) 的气流,效率接近60%。这与在半导体生产设施中常用的标准0.9米 (3英尺) 高的工业风机有显着不同。这些风扇的设计是使用400 Hz工业电源转换器来操作,风扇具有快速响应、无限速度控制和最小的空间要求等特性,所有设计都支持一致的系统工作温度。

SemiCool 系统可以满足半导体生产中所有热密集工艺步骤的冷却需求。系统符合半导体行业的可追溯性和配置控制要求。他们可以通过 TUV 认证,并在 AS9100, ISO9001 制造环境中生产。

AMETEK Rotron 是阿美特克公司的一个子公司,阿美特克公司是电子仪器和机电设备的全球领先制造商,年销售额逾 40 亿美元。

照片文字说明:
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A.紧凑型 MAXIAX 轴流式风扇,最初设计用于关键的军事应用,可为半导体生产工艺提供高可靠性冷却。

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