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AMETEK Rotron公司新聞發佈稿



AMETEK ROTRON展出半導體行業適用
SEMI-COOL精密風扇和客製化冷卻系統
專為軍事航太任務設計的高可靠性精巧型風扇
確保半導體應用的可靠而一致的溫度

AMETEK Rotron (www.rotron.com)在日本Semicon展出SemiCool客製化冷卻系統。SemiCool系統適用於半導體加工的高可靠性冷卻,包含最初設計用於關鍵性軍事和航太用途的Rotron MAXIAX葉軸式風扇,體積精巧,並提供精確的溫度控制。

應用範圍

  • 半導體製造
  • 半導體製造設備OEM
  • 燈具冷卻
  • 熱控制製程的空氣循環
  • 製程散熱
  • 控制電子產生的熱氣
  • 蒸氣澱積
  • 蝕刻加工
  • 晶圓製造

完整的SemiCool系統包括高可靠性的風扇、優化的熱交換器和客製化的通風管道。或者,客戶也可以將MAXIAX風扇整合到自己的冷卻子系統中。

直徑範圍從152.4mm(6吋)到203.2mm(8吋)的優化風扇,在254mm WG(10 IWG)下提供每秒425升(900 CFM)的氣流,效率接近60%。這與半導體廠房中常用的標準0.9m(3')高工業鼓風機有顯著的不同。風扇設計使用400 Hz工業電源轉換器,具有快速反應,無段速度控制和最小的空間需求等特性,能持續保持系統的工作溫度。

SemiCool系統可以滿足半導體生產中所有熱密集製程的冷卻需求。系統符合半導體行業的可追溯性和配置控制要求,它們可以通過TUV的認證,並在AS9100,ISO9001製造環境中生產。

AMETEK Rotron是AMETEK, Inc.公司的一個部門;AMETEK, Inc.是一家電子儀器和機電設備的世界主要製造商,年銷售額40億美元。

圖片說明
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A. 最初設計用於關鍵性軍事和航太用途的精巧型MAXIAX葉軸式風扇,為半導體加工提供高可靠性的冷卻。

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