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Pressemitteilung für AMETEK Rotron

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AMETEK ROTRON STELLT SEMI-COOL PRÄZISIONSLÜFTER UND ANWENDERSPEZIFISCHE
KÜHLSYSTEME FÜR DIE HALBLEITERINDUSTRIE AUS

 Hochzuverlässige, kompakte Lüfter, konzipiert für militärische und Luft-/Raumfahrteinsätze,
 gewährleisten Zuverlässigkeit und gleichbleibende Temperaturen für Halbleiteranwendungen

AMETEK Rotron (www.rotron.com) stellt seine anwenderspezifischen SemiCool Kühlteilsysteme für hochzuverlässige Kühlung von Halbleiter-Fertigungsprozessen auf der Semicon Japan vor. Einschließlich der Rotron MAXIAX Axiallüfter, die ursprünglich für kritische militärische und Luft-/Raumfahrt-Anwendungen entwickelt wurden, bieten die SemiCool-Systeme eine präzise Temperaturregelung in einem kompakten Gehäuse.

Anwendungen:

  • Halbleiterherstellung
  • OEMs von Halbleiter-Fertigungsanlagen
  • Lampenkühlung
  • Thermisch geregelte Prozessluftzirkulation
  • Prozesswärmeabfuhr
  • Elektronikwärme­abfuhr
  • Aufdampfung
  • Ätzverfahren
  • Waferherstellung

Die kompletten SemiCool Systeme umfassen hochzuverlässige Lüfter, optimierte Wärmetauscher und eine anwenderdefinierbare Kanalisierung. Alternativ können Kunden die MAXIAX-Gebläse in ihre eigenen Kühlteilsysteme integrieren.

Optimierte Lüfter mit einem Durchmesser von 152 mm bis 203 mm liefern Luftströme von 425 l/s bei 254 mm WG mit einem Wirkungsgrad von annähernd 60 %. Dies ist eine deutliche Abkehr von den üblichen 0,9 m großen industriellen Gebläsen, die im Allgemeinen bei Halbleiter-Produktionsanlagen zur Anwendung kommen. Für den Betrieb mit industriellen 400-Hz-Stromrichtern ausgelegt, zeichnen sich die Lüfter durch schnelle Reaktion, stufenlose Drehzahlregelung und minimalen Platzbedarf aus – alle Voraussetzungen, um für gleichbleibende Betriebstemperaturen der Anlagen zu sorgen.

SemiCool-Systeme können die Kühlanforderungen sämtlicher wärmeintensiver Prozessschritte bei der Halbleiterproduktion erfüllen. Die Systeme sind mit den Anforderungen an die Rückverfolgbarkeit und Konfigurationskontrolle in der Halbleiterindustrie kompatibel. Sie können nach TÜV-Anforderungen zertifiziert werden und werden in einer Fertigungsumgebung nach AS9100, ISO 9001 hergestellt.

AMETEK Rotron ist eine Geschäftseinheit der AMETEK, Inc., einem weltweit führenden Hersteller von elektronischen Geräten und elektromechanischen Vorrichtungen mit einem Jahresumsatz von 4,0 Mrd. US-Dollar.  

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A. Kompakte MAXIAX Axiallüfter, ursprünglich für militärische Anwendungen entwickelt, sorgen für hochzuverlässige Kühlung von Halbleiter-Fertigungsprozessen.

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