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アメテック・ロトロン プレスリリース



アメテック・ロトロンが半導体産業用
SEMI-COOL 精密ファンと冷却システムを展示

軍事/航空宇宙ミッション用に設計された高い信頼性でコンパクトなファンが
半導体用途に信頼性と一定温度を保証

アメテック・ロトロン(www.rotron.com) がSEMICON®  JAPANで半導体製造プロセスに対して信頼度が高い冷却用のSemiCool カスタム冷却システムを展示しています。ミッションクリティカルな軍事および航空宇宙アプロケーション向けに最初に設計された、ロトロン MAXIAX翼板軸ファンなど、SemiCool システムは、コンパクトなパッケージ内で精密温度制御を提供します。

アプリケーション例:

  • 半導体加工
  • 半導体製造装置OEM
  • ライト冷却
  • 熱制御プロセス空気循環
  • プロセス熱除去
  • エレクトロニク発熱制御
  • 蒸着
  • エッチングプロセス
  • ウエハー加工

SemiCoolの完全システムには、信頼度の高いファン、最適化された熱交換器、カスタマイズされたダクトシステムが含まれます。またMAXIAXファンは、ユーザが使用中である冷却サブシステムに一体化することができます。

最適化されたファンは直径が152.4mm (6”) ~ 203.2mm (8”) の範囲であり254mm WG (10 IWG) で 425 L/s (900 CFM) の流量があり、効率は60%近くに達しています。これは、半導体製造設備で一般的に使用されている標準高 0.9 m (3’) の工業用ブロワーをかなり上回ります。400 Hz 工業用電力変換器と併用が可能なように設計されており、このファンは、高速応答、無段変速、最小の必要スペースを特長とし、すべて一定のシステム稼働温度をサポートするように設計されています。

SemiCool システムは、半導体製造での熱関与が激しいプロセスの全ステップに要求される冷却を満たします。システムは、半導体産業の追跡可能性と設定管理要件に準拠しています。これらのシステムはTUV要件認定が可能であり、AS9100、ISO9001 製造環境で生産されています。

アメテック・ロトロンは、電子機器および電機装置の大手グローバルメーカーで、年商40億ドル以上を誇るアメテック社の系列会社です。

フォトキャプション:
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A. ミッションクリティカルな軍事および航空宇宙アプロケーション向けに最初に設計された、小型 MAXIAX 翼板軸ファンは、半導体製造プロセスに高い信頼性で冷却を提供

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